首台先进封装光刻机投入使用

http://www.cww.net.cn   2010年7月19日 09:11    文汇报    

记者前天从市科委获悉，由上海企业自主研发制造的国内首台先进封装光刻机，已实现销售并投入使用。此举打破了国外在高端光刻机领域的长期垄断，对提升我国集成电路制造装备、工艺及材料技术的自主创新能力具有重要意义。

该机型具有自主知识产权，在投影物镜、高精密工件台、对准调焦测量、软件系统等关键技术上取得了一系列创新。

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