目前，国外MEMS的生产主要由北美与欧洲地区的IDM企业垄断。如：在广元投影机（DLP）MEMS组件领域由德州仪器（TI）掌控，在汽车电子由博世科技（Bosch）掌控，消费电子领域意法半导体（ST Microelectronics）领先，而惠普（HP）等掌控打印机喷墨市场等。此外，以台积电、联电等为代表的半导体代工企业今年来积极投资MEMS的代工生产。近来，利用CMOS标准化工艺生产MEMS元件已¾取得突破，包括WOLFSON、ADI、AKUSTICA等MEMS设计企业或IDM厂，已开始利用标准CMOS制程量产MEMS麦克风等产品。国内MEMS芯片供应商主要有上海微系统所、沈阳仪表所、电子部13研究所等；代工方面，中芯国际等已拥有MEMS代工业务；封装领域，国内MEMS技术发展已走向成熟，国内三大封装厂均已开始涉足MEMS封装业务。
3 一些传感器应用简介：
3.1 有线传感器网络系统
(1)CS-nPT2000压力测量系统
CS-nPT2000压力测量系统是基于RS485总线的多路压力检测的网络系统，实时采集各路的压力信号，并且通过RS485将数据传输给主控制器，在主控制器中进行显示，当压力值超过或低于某一特定值时，主控制器进行声光报警。以便实时检测现场压力的大小。此系统主要用在地铁的消防设备中。
CS-nPT2000压力测量系统由主控制器和终端节点构成。终端节点为RS485输出的CS-PT602压力变送器。此网络采用RS485总线进行组网，其连线简单，仅需要2根信号线以总线方式布网，能非常简单的增加删除节点，RS485网络最大的通信距离约为1219M，最大传输速率为10Mb/S，传输速率与传输距离成反比，每个RS485节点都带有ID标识，总控制器能够自动识别节点的身份标志，从而比较容易的查找故障节点。
(2)CS-nTAS-SY-03采煤机高度解算系统
CS-nTAS-SY-03采煤机高度解算系统采集三个双轴倾角传感器，通过姿态算法检测采煤机的煤层高度。采用CS-2TAS-03双轴倾角计测量采煤机采臂的俯仰角和滚转角，通过角度数据可以解算得到采集高度；此系统采用CAN现场总线进行组网，CAN现场总线是一种多主网络Ð议，网络上任一节点均可在任一时刻主动向网络上其他节点发送报文，通过对报文的优先级进行仲裁，最大程度的减少了报文的传输延时，并且避免了冲突。一个由CAN 总线构成的单一网络中，理论上可以挂接无数个节点。实际应用中，节点数目受网络硬件的电气特性所限制。CAN 可提供高达1Mbit/s的数据传输速率，这使实时控制变得非常容易。CAN总线网络采用中星测控公司自行设计的CANopenÐ议栈，CANopenÐ议建立在CAL(CAN应用层)Ð议之上，由CiA国际组织进行了标准化。
3.2 Zigbee无线传感器网络
(1)CS-nTAS-SY-01无线倾角测量系统
CS-nTAS-SY-01无线倾角测量系统，主要是通过由CS-2TAS-06无线双轴倾角计组成的Zigbee无线通信网络，采集各个节点的倾角信息，并且通过Zigbee无线通信网络，将倾角信息传输给控制中心，控制中心根据预设的功能对其进行控制处理。
CS-nTAS-SY-01无线倾角测量系统的典型应用是高空缆车倾角监测系统，该系统通过在每节车厢中安装CS-2TAS-06无线双轴倾角计组成无线传感器网络，来监控缆车的俯仰角和滚转角。网络系统由移动终端、路由节点和控制中心构成。移动终端主要由CS-2TAS-06无线双轴倾角计组成，主要功能是对缆车的俯仰角和滚转角进行采集和处理，当缆车倾角超过设定值（例如15度）时向控制中心发送报警信号；路由节点就是Zigbee路由器，安装在支架塔上，主要作用是对移动终端的数据进行中继和转发，在移动终端和控制中心之间建立通信路径；控制中心主要由ZigbeeÐ调器和PC终端组成，用于根据发送的信号，对缆车的运行状态进行监控，避免缆车·车等事故的发生。
